[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-1] 粉体ターゲットを用いた３次元の元素空間分布を持つ傾斜膜の作製

〇川崎 仁晴¹、佐竹 卓彦^1,2、青木 振一² (1.佐世保高専、2.崇城大)

キーワード：粉体ターゲット、傾斜機能性薄膜、スパッタリング

多穴型のターゲットホルダを作製し、それを用いて膜厚方向および平面方向に３次元的な空間分布を持つ傾斜機能性薄膜を１度のプロセスでできないか検討した。基板側に進むにつれてFe成分が多くなる傾斜機能成膜の作製に成功するとともに、空間分解能に問題は有るものの平面方向にも分布を持つ薄膜作製が可能となった。