[17p-PA05-1~3] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[17p-PA05-2] フォトニック結晶導波路モジュールを用いた空間電荷検知

〇(B)大塚 亘晟¹、東口 岳樹²、下村 悠²、菊永 和也³、高橋 和² (1.大阪府大院工、2.大阪公大院工、3.産総研)

キーワード：フォトニック結晶、空間電荷、センシング

我々は、静電気事故を引き起こしてしまう空間電荷を検知するためのセンサを開発している。Siフォトニック結晶導波路は、電荷が照射されると内部で自由キャリア吸収が起こり、透過する光の強度が減衰する。そこで、Siフォトニック結晶導波路チップを搭載した小型モジュールを試作し、電荷を照射させる実験を行った。結果として、透過光強度が減衰することや再現性が高いこと等が確認された。