[18p-D519-1~15] 6.5 表面物理・真空

△ [18p-D519-3] TiN膜付アルミナ碍子の耐電圧特性の向上に関する研究

〇角谷 凌太郎¹、小倉 暁雄¹、野木 広光¹、姚 遠昭¹、片桐 創一¹ (1.筑波大学)

キーワード：沿面放電、二次電子イールド、表面抵抗率