[1Ep08-13] 真空科学技術

[1Ep11] 標準リークを通過する気体流量の下流側気体種に対する依存性

*新井 健太¹ (1. 国立研究開発法人産業技術総合研究所)

流路狭窄型標準リークに窒素を流した場合に、下流側が大気圧の窒素及びヘリウムの場合のそれぞれついて流量を測定した。流路狭窄型の標準リークでは流量に差は見られなかったが、さらに狭窄部の寸法が小さい標準コンダクタンスエレメントでは、下流側が窒素の場合と比べてヘリウムの場合約10%程度、測定流量が減少した。