講演情報

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口頭講演

H: 光情報処理

[H03-17p-IV] 干渉計測

2024年1月17日(水) 13:15 〜 15:00 第IV会場 (プラザ平成-会議室2)

座長：田北啓洋（群馬大学大学院理工学府）、仁田功一（神戸大学）

13:45 〜 14:15

[H03-17p-IV-02] 【招待講演】
高感度レーザー微分干渉計測による半導体ウェハ面上のnmスケール欠陥検出法

*石塚将斗¹、本田敏文¹、宇津木健¹、田中幸修¹、李英根¹、井口照悟¹、鵜飼竜志¹、長吉真弓¹ (1. 株式会社日立製作所)

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予稿は、会期1日目の1月16日（火）に公開します。