[17a-B5-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[17a-B5-5] Si酸化膜正孔トラップ密度のSi面方位依存性

^○（M2）梅田啓介^1,3，岡田啓太郎^2,3，小林大輔³，野平博司¹，廣瀬和之³ (東京都市大工¹，早稲田大²，宇宙研³)

キーワード：XPS,Trap,Si