[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-2] Ne,Ar混合下における電界電離Heイオンビームの飛行時間分析

^○小牧啓介¹，永井滋一^1,2，岩田達夫^1,2，梶原和夫^1,2，畑浩一^1,2 (三重大院工¹，三重大極限ナノエレセ²)

キーワード：電界電離ガスイオン源,飛行時間分析