[18a-D8-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[18a-D8-3] 混合させたシリコーンオイルとオゾンガスを用いた酸化シリコン膜の低温形成

^○伊藤拓也，西岡賢祐 (宮崎大工)

キーワード：酸化シリコン,低温,Silicon oxide