2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年3月18日(火) 09:00 〜 12:00 E13 (E301)

09:00 〜 09:15

[18a-E13-1] 薄いAlN/GaN超格子中間層によるSi基板上に成長されたGaN歪み変調のメカニズム

沈旭強,高橋言緒,井手利英,清水三聡 (産総研)

キーワード:GaN,Si,MBE