2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[16p-4E-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2015年9月16日(水) 13:45 〜 16:45 4E (437)

座長:山口 徹(NTT),岡田 真(兵庫県立大),柳下 崇(首都大)

14:30 〜 14:45

[16p-4E-4] デスクトップ型投影露光装置を用いたレンチキュラーレンズパターンの形成

〇森實 祐太1、堀内 敏行1 (1.東京電機大院工)

キーワード:レンチキュラーレンズ、投影露光