角嶋邦之

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座長等

2016年9月16日(金) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

角嶋邦之(東工大)

2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16p-B10-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

佐々木実(豊田工大)、角嶋邦之(東工大)