[15p-P11-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-P11-11] マイクロ波プラズマトーチを用いたダイヤモンド・ナノパウダーの気相合成と評価

〇(M1)山田 遼太¹、村田 悠馬¹、齋藤 裕紀¹、田中 勝己¹、一色 秀夫¹ (1.電通大院理工)

キーワード：ダイヤモンド

最近、マイクロ波プラズマを用いたNCD(ナノクリスタルダイヤモンド)の“気相合成”法が提案された。この方法ではNCDを気相中に直接合成するため、プラズマ雰囲気中にダイヤモンド核発生中心となる原子状Siを導入する点がポイントとなる。本実験では合成条件の最適化を目的として、マイクロ波プラズマトーチを用いたNCD気相合成における圧力や原料ガス流量をパラメータとして試料の作製、評価をおこなった。