[15p-P11-1~12] 15.5 Group IV crystals and alloys

[15p-P11-12] Synthesis of diamond single-crystal thin film on Si substrate

〇(M1)Yuki Saito¹, Ryouta Yamada¹, Hideo Isshiki¹ (1.Dentsu Univ)

Keywords:diamond

ダイヤモンド成長時の窒素微量添加効果に関する研究。結果として、αパラメータの増加と高配向(100)面ダイヤモンドの形成を確認し、また、αパラメータの増加とともに生じる結晶性低下に対し、窒素流量変調が結晶性の向上に有効であることが分かった。