[15p-P11-1~12] 15.5 Group IV crystals and alloys

[15p-P11-11] Chemical Vapor Synthesis of diamond nano-powder by using microwave plasma torch and its evaluation

〇(M1)Ryota Yamada¹, Yuma Murata¹, Yuki Saito¹, Katsumi Tanaka¹, Hideo Isshiki¹ (1.Dentsu Univ.)

Keywords:diamond

最近、マイクロ波プラズマを用いたNCD(ナノクリスタルダイヤモンド)の“気相合成”法が提案された。この方法ではNCDを気相中に直接合成するため、プラズマ雰囲気中にダイヤモンド核発生中心となる原子状Siを導入する点がポイントとなる。本実験では合成条件の最適化を目的として、マイクロ波プラズマトーチを用いたNCD気相合成における圧力や原料ガス流量をパラメータとして試料の作製、評価をおこなった。