11:00 〜 11:15
〇野田 周一1、水林 亘2、菊池 亜紀応1、遠藤 和彦2、寒川 誠二1,2 (1.東北大、2.産総研ナノエレ)
野田 周一
発表者・著者、共著者
2017年3月17日(金) 09:00 〜 11:30 313 (313+314)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.4 プラズマエッチング
2017年3月17日(金) 09:00 〜 12:45 E206 (E206)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
09:30 〜 09:45
〇野田 周一1、李 耀仁2、洪 子杰3、薛 富國2,3、李 義明3、寒川 誠二1,3 (1.東北大、2.台湾国家奈米元件実験室、3.台湾交通大)