09:30 〜 11:30 △ [16a-P4-8] 表面波プラズマ励起化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の堆積と評価 〇馬場 真人1、近藤 佑隆1、岡田 浩2,1、古川 雅一3、山根 啓輔1、関口 寛人1、若原 昭浩1,2 (1.豊技大工、2.EIIRIS、3.ARLC)