[15a-P5-1~9] 6.4 薄膜新材料

[15a-P5-1] 室温原子層堆積法を用いて形成したアルミナ膜による金属表面の耐腐食コート

〇鹿又 健作¹、石川 誠¹、三浦 正範¹、有馬 ボシールアハンマド¹、久保田 繁¹、平原 和弘¹、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院)

キーワード：原子層堆積法、プラズマプロセス、耐腐食コート

我々はこれまで酸化ガスに加湿アルゴンプラズマを用いた独自の室温原子堆積法によるシリカ、チタニア、アルミナ、ジルコニアの形成について報告を行ってきた。本研究では上記の室温原子層堆積法を用いてSUS430の板材にアルミナをコートした。この板材を塩酸に浸漬し、腐食試験を行った結果、塩酸に30分浸漬を行っても金属表面が浸食されることなく保たれていることを確認した。