[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-C104-8] チタン酸バリウム系ナノキューブ集積体の誘電特性の組成依存性

〇三村 憲一¹、加藤 一実¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：ナノクリスタル、チタン酸バリウム、高誘電率材料

本研究グループでは、チタン酸バリウムナノキューブ（BT NC）の高い結晶性およびそれらの三次元構造を構築することによる多数の界面構造から、誘電特性の向上を見出した。さらにチタンの一部をジルコニウムで置換したチタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ（BZT NC）の合成も可能とし、三次元集積体の圧電特性がBT NCと比較してスリム化することも明らかとした。本研究では、BTおよびBZT NCの誘電特性の温度依存性を評価し、特徴を比較考察することにより、その起源について考察した。