11:30 〜 11:45 [21a-E310-10] レーザ剥離技術を用いて剥離したGaN基板の評価 〇田中 敦之1,2、伊ヶ崎 泰則1、天野 浩1,2,3,4 (1.名大未来材料・システム研究所、2.物材機構、3.名大赤崎記念研究センター、4.名大 VBL)