[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-10] HMTAによるc軸配向ZnOナノロッドの成長過程に関する研究

〇陳 飛¹、福住 達郎¹、沖村 邦雄¹ (1.東海大院工)

キーワード：薄膜、ナノロッド、酸化亜鉛

酸化亜鉛(ZnO)は多様な光，電子，磁気機能を有する材料として注目を集めている．さまざまな形状の酸化亜鉛の合成が報告されているが，細い棒状のZnOナノロッド(ZnO_NR)は大きな表面積/体積比を有するため，色素増感型太陽電池の作用電極への応用が特に期待されている．ZnOナノロッドの成長形態の制御のために，ヘキサメチレンテトラミン(HMTA)を原料とする合成法が研究されてきた．本研究では，HMTAによるZnO_NRの成長過程を調べるために，CBD法 (Chemical Bath Deposition)の成膜時間変化について調べ，NRの形状および成長様式の検討を行った．