[12a-PB1-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[12a-PB1-5] Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電およびプラズマ発光特性

〇(M1)西田 寛¹、平井 芳拓¹、中込 雄基¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、大下 慶次郎³、美齊津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HPPMS）は高硬度・高耐摩耗性成膜が可能とされる先進的なPVD技術として注目を浴びている。本研究ではスパッタガスであるAr流量を制御することで動作圧力を変化させながらパルススパッタを行い、電流・電圧波形の特性と放電メカニズムについて検討する。また、プラズマ発光の分光分析によって生成種の組成や生成プロセスについても検討する。