[9a-Z10-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[9a-Z10-1] ミニマルファブを活用した液体TEMセルの作製プロセス開発

〇柳 永シュン¹、村上 勝久¹、李 晓光²、根本 一正¹、野田 周一¹、田中 宏幸¹、古賀 和博³、クンプアン ソマワン^1,3、森田 行則¹、松川 貴¹、原 史朗^1,3、竹口 雅樹²、長尾 昌善¹ (1.産総研、2.物材研、3.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ