[12p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[12p-A305-12] 積層a-Si/SiN/a-Siバリスタを有するビアスイッチ素子の開発

〇井口 憲幸¹、伴野 直樹¹、岡本 浩一郎¹、沼田 秀昭¹、橋本 昌宜²、杉林 直彦¹、阪本 利司¹、多田 宗弘¹ (1.NEC、2.大阪大学)

キーワード：原子スイッチ、FPGA、セレクター

高密度かつ低電力なFPGAの実現のため、二つの選択素子（バリスタ）を有する相補型原子スイッチ「ビアスイッチ」を提案した。ビアスイッチはバリスタによって選択トランジスタを用いずに同じ線上のスイッチを複数プログラムすることができる。すなわち、マルチファンアウト（マルチFO）が可能となる。本検討では、a-Si/SiN/a-Si整流層のSiN層を組成の異なる3層で構成する新しい構造を提案し、高オフ抵抗、高非線形性（1.1×10⁵）、高オン電流密度（1.63MA/cm²）を実現した。これにより、ビアスイッチが低電力FPGAの配線切り替えスイッチとして有用であることを示した。