[25a-E204-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[25a-E204-5] 熱フィラメントCVD法により成長したリンドープn型ダイヤモンド薄膜のカソードルミネッセンス

〇片宗 優貴¹、森 大地¹、和泉 亮¹、市川 公善²、寺地 徳之²、渡邊 賢司²、小泉 聡² (1.九州工大、2.物材機構)

キーワード：n型ダイヤモンド、熱フィラメントCVD、カソードルミネッセンス

リンドープn型ダイヤモンド膜の成長を熱フィラメントCVD法を用いて行い，成長膜のカソードルミネッセンス（CL）を評価した．n型伝導性を示す成長膜の低温でのCLスペクトルにおいて，一般的なn型ダイヤモンドでみられる束縛励起子発光ピークが観測された．熱フィラメントCVD法で成長したダイヤモンド膜は結晶成長の過程でフィラメント由来の金属不純物が取り込まれるが，良好な結晶品質を有することが明らかになった．