[25a-E204-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

[25a-E204-4] Local Structures of P Atoms Implanted in Diamond Substrates (II)

〇Yasushi Hoshino¹, Yuhei Seki¹, Kei Mitsuhara² (1.Kanagawa Univ., 2.Ritsumeikan Univ.)

Keywords:diamond semiconductor, doping, local structure

ダイヤモンド中へイオン注入によりドーピングされた不純物P原子の局所構造について、X線吸収端微細構造分析および２次イオン質量分析法により調べた。注入されたP原子は主にOまたはHと結合している可能性が高いことが示された。本発表では、OやHが混入した過程と不純物P原子の電気的不活性化の起源について、更なるXANES深さ方向分析とSIMSによる元素分析より明らかになったことを報告する。