[25a-E204-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

[25a-E204-5] Cathodoluminescence of Phosphorus-Doped n-Type Diamond Thin Films Grown by Hot-Filament CVD

〇Yuki Katamune¹, Mori Daichi¹, Akira Izumi¹, Kimiyoshi Ichikawa², Tokuyuki Teraji², Kenji Watanabe², Satoshi Koizumi² (1.Kyushu Inst. Technol., 2.NIMS)

Keywords:n-type diamond, Hot filament CVD, Cathodoluminescence

リンドープn型ダイヤモンド膜の成長を熱フィラメントCVD法を用いて行い，成長膜のカソードルミネッセンス（CL）を評価した．n型伝導性を示す成長膜の低温でのCLスペクトルにおいて，一般的なn型ダイヤモンドでみられる束縛励起子発光ピークが観測された．熱フィラメントCVD法で成長したダイヤモンド膜は結晶成長の過程でフィラメント由来の金属不純物が取り込まれるが，良好な結晶品質を有することが明らかになった．