[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-9] Si赤外吸収材を使用して赤外レーザー蒸着法により合成したLiBH₄エピタキシャル薄膜の膜質評価

〇(B)岩崎 慧¹、磯 啓一朗¹、風間 敦夫¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工)

キーワード：固体電解質

錯体水素化物LiBH₄は伝導率が10^-3 S cm^-1を超える優れたLiイオン伝導特性を示すために、全固体Li電池の固体電解質としての応用が期待されている。そして最近では、薄膜型全固体Li電池の開発に向けて、赤外レーザー蒸着法を用いたLiBH₄薄膜合成が報告されている。これまでのLiBH₄薄膜合成では、原料であるLiBH₄ターゲットに赤外吸収剤として炭素Cを混ぜていたが、この炭素が薄膜へ混入しやすいだけでなく、膜表面を高密度に覆う直径10 µm程度のドーム状の島が生じる原因となっていた。そこで本研究では、赤外吸収剤をCからシリコンSiに変更し、不純物混入度合いが少なく平坦な薄膜を合成することを目指した。