[25p-F307-1~16] 6.4 Thin films and New materials

△ [25p-F307-10] Improvement in flatness of LiBH₄ films by substrate surface modification

〇(M1)Keiichiro Iso¹, Iwasaki Kei¹, Kazama Atsuo¹, Oguchi Hiroyuki¹ (1.Shibaura Inst.)

Keywords:solid electrolyte

10^-3 S/cm以上の高速Liイオン伝導を示すLiBH₄薄膜は、固体電解質としての応用が期待される材料である。ただし、報告されているLiBH₄薄膜の表面には数μm程度の凹凸があり平坦性が低かった。この凹凸の原因は、基板との濡れ性が低いことによる膜の島状成長にあることが、最近の調査によって明らかになった。そこで本研究では、活性水素を用いて基板表面改質を実施することで、島状成長を抑制し、LiBH₄薄膜の平坦性を改善することを目指した。