[25p-F307-1~16] 6.4 Thin films and New materials

△ [25p-F307-11] Film Growth of LiBH₄ Using Ionic Liquid-Mediated Method

〇(B)Takumi Tozawa¹, Atsuo Kazama¹, Shingo Maruyama², Yuji Matsumoto², Hiroyuki Oguhi¹ (1.Shibaura Tech., 2.Tohoku Univ.)

Keywords:Ionic Liquid-Mediated Method

LiBH₄は全固体電池などの固体電解質として期待される材料である。赤外レーザー蒸着法によりLiBH₄エピタキシャル薄膜が合成されている。ただし、これまで得られた薄膜の結晶性は比較的低く、直径数百nm程度のドーム状の島が表面を覆っていたり、ターゲットに含まれる赤外吸収剤が膜へ混入したりしていた。本研究では、イオン液体(IL)アシスト成膜によりLiBH₄薄膜合成を行い、これらの欠点の改善を目指した。