15:45 〜 16:00 [17p-A205-11] F2添加 Ar プラズマを用いた基板昇温下での AlGaN の原子層エッチング 〇中村 昭平1,2、谷出 敦1,2、灘原 壮一1,2、石川 健治2、小田 修2、堀 勝2 (1.SCREENホールディングス、2.名古屋大学)