[2I05-10] イオンビーム応用

[2I08] 高エネルギー軽イオンビーム・透過反跳粒子検出法による薄膜積層リチウムイオン電池の高分解能リチウム解析

*森田 健治¹、土屋 文²、大西 純慈³、山本 貴之³、入山 恭寿³、間嶋 拓也⁴、土田 秀次⁴、鈴木 耕拓⁵、三ツ口 直宏³ (1. 名古屋産業科学研究所、2. 名城大学、3. 名古屋大学、4. 京都大学、5. 若狭湾エネルギー研究センター)

キーワード：MeVイオンビーム材料分析、固体リチウムイオン電池、高エネルギー軽イオンビーム

5MeVHe⁺²イオンビームを用いた透過反跳粒子検出法による、充電中の薄膜積層リチウムイオン電池内のリチウム濃度の高分解深さ分布の測定結果を述べると共に、これまでの9MeVＯ⁺⁴イオンビームを用いて測定した結果と比較する。