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[3N12] 負ミューオン原子核捕獲反応によって生じる二次軽荷電粒子の測定系の開発
キーワード:ミューオン原子核捕獲反応、ソフトエラー
近年、半導体デバイスの微細化によりミューオン起因のソフトエラーが注目されている。負ミューオン原子核捕獲反応 (μNC) により発生する二次軽荷電粒子がソフトエラーの原因になることが指摘されている。そこで、我々はミューオン起因ソフトエラー発生率の評価に必要なμNCで生成する二次軽荷電粒子のエネルギースペクトルを実測するため、荷電粒子測定系の開発を行っている。本測定系では、荷電粒子のエネルギーごとに粒子識別方法の異なる2種類のテレスコープを用いる。低エネルギー粒子はnTD-Si検出器によって検出し、波形解析法により粒子識別を行う。また、高エネルギー粒子はSi検出器とCsIシンチレータにより検出し、ΔE-E法により粒子識別を行う。本講演では、九州大学タンデム加速器施設で行った測定系の動作テストについて報告する。