[C203-1am] 18. 高分子

[C203-1am-11] 酸増殖剤を含む黒色化学増幅レジストの感光特性

^○渡邉 高史¹、青木 大亮¹、有光 晃二¹ (1. 東理大理工)

［言語］日本語

キーワード：酸増殖剤、化学増幅レジスト、黒色レジスト