[C205-3am] 20. 材料化学―基礎と応用

[C205-3am-04] マイクロ波液中プラズマ法による厚膜ダイヤモンドの合成

^○久保田 侃昌¹、富永 悠介¹、寺島 千晶^1,2、上塚 洋³、石田 直哉²、藤嶋 昭² (1. 東京理科大学理工学部先端化学科、2. 東京理科大学研究推進機構総合研究院スペースシステム創造研究センター、3. 旭ダイヤモンド工業株式会社)

［言語］日本語

キーワード：ダイヤモンド、化学気相成長法、プラズマ、マイクロ波液中プラズマ法