[D201-1am] 06. 分析化学

[D201-1am-06] 有機分子膜上の官能基を利用した金属酸化物の空間選択的原子層堆積

^○小野 赳¹、細見 拓郎¹、長島 一樹¹、高橋 綱己¹、田中 航¹、金井 真樹¹、柳田 剛¹ (1. 東京大学)

［言語］日本語

キーワード：原子層堆積、自己組織化単分子膜、ナノワイヤ