[J401-3am] 07. 無機化学

[J401-3am-15] マイクロ波液中プラズマCVDを用いたボロンドープダイヤモンドの超高速成長

^○富永 悠介^1,2、上塚 洋³、石田 直哉²、近藤 剛史^1,2、湯浅 真^1,2、佐藤 進⁴、藤嶋 昭²、寺島 千晶^1,2 (1. 東京理科大学大学院理工学研究科先端化学専攻、2. 東京理科大学スペースシステム創造研究センター、3. 旭ダイヤモンド工業株式会社、4. 埼玉工業大学)

［言語］日本語

キーワード：ダイヤモンド、ボロンドープダイヤモンド、ダイヤモンド電極、化学気相成長、液中プラズマ