[K202-4am] 02. 理論化学・情報化学・計算化学

[K202-4am-09] シリコン結晶成長における素反応の解析と速度定数の評価

^○石塚 茉奈¹、山口 勉功¹、国吉 ニルソン¹ (1. 早稲田大学)

［言語］日本語

キーワード：反応動力学、化学蒸着法、シミュレーション、量子化学計算、遷移状態理論