S10. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Tue. Sep 25, 2018 2:00 PM - 3:15 PM I会場 (108教室)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
2:00 PM - 2:15 PM
〇阿川 義昭1、田中 浩之1、鳥巣 重光1、冨中 悟史2 (1. アドバンス理工株式会社、2. 国立研究開発法人物質・材料研究機構)
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2:15 PM - 2:30 PM
〇山本 春也1、田口 富嗣1、越川 博1、佐藤 裕真1,2、出崎 亮1、八巻 徹也1 (1. 量子科学技術研究開発機構、2. 群馬大学)
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Cancelled
2:30 PM - 2:45 PM
〇中山 勝利1,2、亀山 達矢1、桑畑 進3、鳥本 司1,2 (1. 名古屋大学大学院工学研究科、2. 名古屋大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー、3. 大阪大学大学院工学研究科)
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2:45 PM - 3:00 PM
〇生田 歩夢1、北本 仁孝1 (1. 東京工業大学)
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3:00 PM - 3:15 PM
〇大友 良々歌1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)
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