【固体化学の基礎と応用－固体材料の合成・物性・反応性】
セッション7（一般講演7）

[2B02] 反応性スパッタリング法により作製したAlN薄膜の水素透過性の評価

〇齋藤 美玖¹、青木 芳尚¹、朱 春宇¹、幅崎 浩樹¹ (1. 北海道大学)