2021電気化学秋季大会

講演情報

S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

【電子材料及びナノ機能素子】
セッション1(一般講演1)

2021年9月8日(水) 09:30 〜 10:30 I会場(S13/S8) (E307)

座長:新宮原 正三(関西大学)

主催:電子材料委員会

10:00 〜 10:15

[1I03] マンガンをドープしたシリコン窒化膜の電荷捕獲特性

〇間嵜 玲央1、古性 圭亮1、小林 清輝1 (1. 東海大学大学院 工学研究科)