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General Scopes of Photopolymer Science and Technology

[2B3-501-04] レジスト除去、エッチング、洗浄

Wed. Jun 29, 2022 1:00 PM - 2:40 PM レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島達夫(金沢大学)、堀邊英夫(大阪公立大学)

1:00 PM - 1:35 PM

*部家彰¹、住友弘二¹ (1. 兵庫県立大学)

1:35 PM - 2:10 PM

*八田章光¹、Fitriani Sukma¹、古田寛¹、矢島英樹² (1. 高知工科大学、2. オーク製作所)

2:10 PM - 2:30 PM

*神保佳典¹、水嶋祐基¹、真田俊之¹ (1. 静岡大学工学部)

2:30 PM - 2:40 PM