2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島 達夫(金沢大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月29日(水) 14:40 〜 15:50 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:神村 共住(大阪工業大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月29日(水) 15:50 〜 16:50 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:部家 彰(兵庫県立大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 Nanoimprint (A6)

Chairman:Yoshihiko Hirai(Osaka Metropolitan University), Hiroaki Kawata(Osaka Metropolitan University)

2022年6月29日(水) 15:00 〜 16:40 Nanoimprint (A6)

Chairman:Kazuma Kurihara(Advanced Industrial Science and Technology ), Jun Taniguchi(Tokyo University of Science)

2022年6月29日(水) 13:00 〜 15:00 Nanobiotechnology (A2)

Chairman:Kohei Soga(Tokyo University of Science), Hiroaki Takehara(The University of Tokyo)

2022年6月29日(水) 15:00 〜 16:50 Nanobiotechnology (A2)

Chairman:Takanori Ichiki(The University of Tokyo), Masakazu Umezawa(Tokyo University of Science)

2022年6月29日(水) 15:00 〜 16:40 Photopolymers in 3-D Printing / Additive Manufacturing (A8)

Chairman:Akira Watanabe(Tohoku University), Masaru Mukai(Yokohama National University)