Schedule 12 11:05 AM - 11:25 AM [1B104] 再配線用低温硬化型低誘電率および誘電正接ポリイミド *壽慶 将也1、荒木 斉1、小笠原 央1、嶋田 彰1、藤原 健典1、富川 真佐夫1 (1. 東レ株式会社 電子情報材料研究所)