IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

Vacuum Vision 2030

[Mon-A1] Vacuum Vision 2030

2022年9月12日(月) 13:15 〜 15:15 Room A (Main Hall)

14:00 〜 14:15

[Mon-A1-4] Green technologies for vacuum system on WFE

*Yohei Yoda1, Shinichi Sekiguchi1 (1. EBARA Corporation (Japan))

キーワード：SDGs, Vacuum pump, Abatement, Green fab

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