スケジュール 1 10:45 〜 11:00 [3C1-02] 薄いZr薄膜を用いた原子拡散接合法によるウエハ室温接合 〇魚本 幸1、島津 武仁1,2 (1. 東北大学 学際科学フロンティア研究所、2. 東北大学 電気通信研究所) 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証