[P] P54~P58

[P55] TiN deposits coating formed by plasma nitriding using Ti screens with various open hole state

*KOUDAI IMAMURA¹, AKIO NISHIMOTO¹ (1. Grad. Sch. Sci & Eng., Kansai Univ.)

Keywords:窒化処理、表面改質処理、TiNコーティング、アクティブスクリーンプラズマ窒化、Tiスクリーン

窒化処理の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化処理法は、試料を絶縁しその周りに設置したスクリーンからの堆積物により窒化を進行させる。本研究ではTiスクリーンを用いることで表面にTiNを形成させた。