ATM社製　振動式ポリッシング装置サファイアバイブロ
ATM社製ソリューション ボックス
振動式ポリッシング装置サファイアバイブロは、実質的に変質層のない試料表面(1μm 未満のポリッシング工程) を得るために設計されています。
ATM社製ソリューション ボックス　Φ200、Φ250、Φ300mmの作業面に対応する、19種類のトライアルセットを取り扱っています。

HF5000、NX5000、HD2700、SEM/FIB/AFM相関解析（SAEMic）

日立ハイテクがご提供する高機能FIB-SEM複合装置Ethos NX5000,　走査透過電子顕微鏡HD2700、
SEMおよびAFMによる金属組織微細構造、金属腐食相関解析事例をご紹介いたします。