[G] Surface, Interface, and Catalysts

[103] Friction induced crystal growth of two-dimensional layered MoS₂ on various substrate

*Osaki Junya¹, Tanabe Tadao², Oyama Yutaka² (1. 東北大工（学生）、2. 東北大工)

Keywords:MoS₂、二次元材料、MoDTC、潤滑膜

摩擦によるMoS2潤滑膜の生成反応を半導体デバイスプロセスへ応用することを目的とし、基板の種類がMoS2潤滑膜生成に及ぼす影響について調査する。