09:00 〜 09:15
[103] 各種基板表面における二次元層状半導体MoS2の摩擦誘起成膜
キーワード:MoS2、二次元材料、MoDTC、潤滑膜
摩擦によるMoS2潤滑膜の生成反応を半導体デバイスプロセスへ応用することを目的とし、基板の種類がMoS2潤滑膜生成に及ぼす影響について調査する。
抄録パスワード認証
抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。