[G] 表面・界面・触媒

[109] 双極子プラズマ窒化装置を用いた
SUS304ステンレス鋼の窒化挙動に及ぼすバイアス電圧の影響

*前田 健太¹、中山 栄浩²、猿渡 直洋²、杉田 良雄³、関谷 英治³ (1. 山梨大学(院生)、2. 山梨大学、3. ワイエス電子工業株式会社)

キーワード：SUS304ステンレス鋼、S相、双極子プラズマ窒化装置、バイアス電圧値、窒化鉄

独自に開発した双極子プラズマ窒化装置のバイアス電圧値が、SUS304ステンレス鋼におけるS相の形成挙動に及ぼす影響の解明を目的とした検討を行った。